一、概况

　　气体循环冷却罗茨真空泵主要由转子、泵体、冷却器等组成，转子在泵腔内每旋转120度并完成一次吸、排气的过程。冷却气体从泵体的两侧进入泵的吸气腔，使泵不会因压缩气体而出现过热，但对泵的抽气性能没有任何影响。抽气效率、噪声、振动等性能比传统二叶罗茨泵显著提高。

　　气冷泵的转子采用渐开线的线型结构，转动时无接触且保持恒定间隙。由于该特殊的专利结构，气冷泵可以在高压差和高压缩比下长期可靠运行，既可单独使用，也可多台串联使用，或与其他真空泵组成机组，达到更高真空度来满足各类工艺要求。

二、主要特点

●单独使用时直排大气的工作真空度可以达到150mbar。

●多级串联或和其它前级泵泵串联后可以达到中真空范围。

●特殊专利结构确保泵在高压差和高压缩比运行时不会过热过载。

●三叶渐开线型线结构和高精度机械加工确保产品运转平稳安静。

●先进的平衡式机械密封使泵的密封性能比传统骨架密封更可靠。

●泵腔为无油结沟，适用于抽除一般空气及各种特殊气体。

三、规格参数

注：泵的电机功率及冷却器面积是根据工作压差决定的，不同的压差可配置不同的电机及冷却器。

四、性能曲线

五、外形尺寸