概况及原理
气体循环冷却罗茨真空泵主要由转子1、转子2、泵体4、冷却器7 等组成，由于其特殊的结构设计，使其可以在高压差和高压缩比下长期可靠运行。冷却气体从泵体的两侧进入泵的吸气腔，使泵不会因压缩气体而出现过热，但对泵的抽气性能没有任何影响。右图Ⅰ至图Ⅴ是转子在泵腔内旋转120度并完成一次吸、排气的过程。冷却器和电机是每台泵必备的附件，冷却器和电机的规格是根据不同的工况而定。泵可以单独使用也可以多台串联使用，或与液环真空泵和普通罗茨真空泵串联成机组，达到更高真空度来满足各类工艺要求。

主要特点

1、单独使用时直排大气的工作真空度可以达到150mbar。

2、多级串联或和其它前级泵泵串联后可以达到中真空范围。

3、特殊结构设计确保泵在高压差和高压缩比运行时不会过热过载。

4、三叶渐开线型线结构和高精度机械加工确保产品运转平稳安静。

5、抽气性能、噪声、振动等主要性能比传统二叶泵更有显著提高。

6、先进的平衡式机械密封使泵的密封性能比传统骨架密封更可靠。

7、泵腔为无油结构，适用于抽除一般空气及各种特殊气体。

8、与其它机械真空泵比较，节能效果十分显著。