概况及原理

罗茨真空泵又称机械增压泵，是一种旋转式容积真空泵。二个三叶转子与泵腔保持一定的间隙，通过一对同步反向旋转齿轮使二个转子在泵腔内旋转时互相不接触并保持一定间隙。右图为泵的结构原理图，从图Ⅰ至Ⅳ为转子在泵腔内旋转并完成一次吸、排气的过程。

主要特点：
Ø 转速高、容积效率高。
Ø 结构简单，操作、维护方便。
Ø 转子被锁紧，无轴向串动现象。
Ø 采用高精度传动齿轮和良好的动平衡，噪声低、运转平稳。
Ø 泵腔为无油结构，适用于抽除一般空气及各种特殊气体。
Ø 与其它机械真空泵比较，节能效果显著。
Ø 可与各类前级泵配套，可广泛应用于各类工艺范围。
Ø 可采用风冷和水冷方式满足不同工况要求。

应用范围：

罗茨真空泵的优点是在较低入口压力时仍具有较大抽气速率，但罗茨真空泵不能单独使用，必须与前级真空泵配套使用。当前级真空泵将系统压力抽到罗茨真空泵允许启动压力时，才可启动罗茨真空泵。根据不同的工作压力和工艺条件，罗茨真空泵的前级真空泵可采用油封式机械真空泵、液环式真空泵、往复式真空泵等。配置不同类别的前级真空泵后罗茨真空泵所能达到的极限压力有所不同。罗茨真空泵可广泛应用于需要大抽速和中等真空(10－1 －10－2Pa)的任何真空系统中,例如: 真空镀膜、真空焊接炉、真空热处理炉、大型空间模拟试验、灯管及灯泡制造、激光器制造、真空包装设备、汽车制造业、集中真空抽气系统、各类化工处理、真空脱汽、真空除汽、真空脱水、真空冷冻干燥、真空蒸馏